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光刻掩模板
產品特點

基材材質:蘇打、石英玻璃 ? ? ? ? ?

尺寸:指定圖形尺寸設計 ? ?

外觀標準:無劃傷、無磕碰等(目視) ? ?

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產品性能

光學特性:任意指定波段膜系設計(膜層種類:Ag、AL、Cr、SiO、TiO等) ? ?

技術規格

CD精度:0.5um ? ?

最小線縫:2um ? ?

加工尺寸:4-7寸